杭州杭新暖通工程有限公司

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复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净的空气。

(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式 需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。

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净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10，000~100，000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，工厂通风排烟，以为生产之用；洁净工作台、无尘车间、洁净工作棚、洁净风柜，层流车即属此类。

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风机正常运转后，应用金属棒或长柄螺丝刀仔细轴承内有噪声以判断风机轴承是否损坏或润滑油中有否混入杂物。待运转一段时间后，可采用表面

温度计测量轴承温升。一般滚动轴承的温度不大于80℃，滚动轴承的温度不大于60℃。

风机试转一切正常后，应再进行连续运转，运转持续时常不少于2小时。

2、联体调试

在风机试运转合格并填写有关记录后，还应进行风口、防火阀、调节阀、密闭阀的联体调试，并对系统中的风口参数：风量、风压用风速仪进行测试，并根据设计要求启闭有关阀门进行反复调试直至达到有关设计要求。

在调试达到设计要求后还应进行联体不间断72小时运转，在各系统均正常工作，各参数值不变情况下可作竣工验收准备并作好有关记录。

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